山东大学2022年11至12月政府采购意向-离子束刻蚀系统

      招标详情

      *****招标公司受业主*****委托，于2022-10-19在网上发布：山东大学2022年11至12月政府采购意向-离子束刻蚀系统。各有关单位请与公告中招标负责人接洽联系，及时开展投标及相关工作，以免错失商业机会。

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      山东大学2022年11至12月政府采购意向-离子束刻蚀系统 详细情况























      离子束刻蚀系统
      项目所在采购意向：
      		 山东大学2022年11至12月政府采购意向
      采购单位：
      		 山东大学
      采购项目名称：
      		 离子束刻蚀系统
      预算金额：
      		（略）(人民币)
      采购品目：
      		 电子工业专用生产设备
      采购需求概况 ：
      		 本采购项目是高能量离子束刻蚀与薄膜沉积系统的离子束刻蚀部分，主要用于微纳电子器件的刻蚀加工。本项目采购离子束刻蚀系统1套，需要配备无灯丝免维护离子源，可以对6英寸及以下的基片进行均匀刻蚀；样品台水冷，样品台可倾斜可自转；带自动终点检测装置。
      预计采购时间：
      		 2022-11
      备注：



      本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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