二极直流溅射多功能镀膜仪(SZTUWSJJ2600275)采购公告

      招标详情

      *****招标公司受业主*****委托，于2026-09-15在网上发布：二极直流溅射多功能镀膜仪(SZTUWSJJ2600275)采购公告。各有关单位请与公告中招标负责人接洽联系，及时开展投标及相关工作，以免错失商业机会。

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      二极直流溅射多功能镀膜仪（SZTUWSJJ（略））采购公告













      项目名称




      公示开始日期




      采购单位




      履约保证金




      （略）



      签约时间要求




      预算




      供应商资质要求




      收货地址




      二极直流溅射多功能镀膜仪


      项目编号
      SZTUWSJJ（略）


      2026-09-15 16:17:45


      公示截止日期
      2026-09-18 17:00:00


      深圳技术大学


      付款方式
      合同签订并收（略）人支付合同总价50%的款项



      无履约保证金




      中标后在我参与的项目中查看



      联系（略）


      中标后在我参与的项目中查看



      成交后10工作日


      到货时间要求
      签约后15个自然日




      ￥


      280,000







      ;

      不同供应商的法定代表人、主要经营负责人、项目投标授权代表人、项目负责人、主要技术人员不得为同一人、属同一单位或者在同一单位缴纳社会保险；不同投标供应商的投标文件不得由同一单位或者同一人编制；单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加本项目采购活动

      (必选)






      广东省深圳（略）







      采购清单

      1







      采购物品


      采购数量


      计量单位


      所属分类






      二极直流溅射多功能镀膜仪
      1
      台
      电化学分析仪器






      预算




      技术参数




      售后服务





      ￥


      280,000



      直流溅射：0-400V，直流电源一套

      真空室：数目：单室结构

      材料：304不锈钢，焊接而成

      形式：方箱形结构，配两个观察窗

      尺寸：312 X 373 X 436MM

      门密封：氟橡胶密封

      观察窗：Φ30mm 1个

      接口类型：KF25*3个、CF35标准配置*4个

      开启方式：正面左侧轴向开启

      真空规：电阻规ZJ-52T（1×105~1×10-1Pa）

      电离规ZJ-27（1×10-5~10.0Pa）

      复合真空计，数控集成,带模拟量输出

      直流溅射：0-400V，直流电源一套

      射频溅射：13.56MHz，300W匹配器一体化电源一套

      镀膜质量：均匀性±5%

      磁控靶头：2寸/50.8mm圆形靶头，水平角度、垂直角度可调节，两个、直流电源一、射频电源一

      基片旋转：自动化控制，转速0-20rpm

      管道/接口：CF接头、KF接头、精密不锈钢管、压制波纹管、快卸接头以及双卡套接头一批

      一级泵：双级旋片式真空泵1台

      二级泵：分子泵1套

      抽真空速率：干燥空气或氮气环境下，15分钟从大气压到10-3Pa、长期使用、干燥环境有进一步提升

      冷却系统：真空泵采用分子泵风冷系统，溅射靶头、膜厚探头采用水冷

      膜厚仪： QCM压电陶瓷膜厚仪1套:包含水冷探头，探测精度0.1埃

      探头位置探头位置：探头位置、高度可调节

      晶振片：晶振片6MHz镀金石英片，含晶振寿命监测

      通道数：默认单通道，(可拓展多通道，实时独立监测，可添加外控出口)

      全触屏一体化控制：高集成触摸屏系统，所有操作全触屏控制，实现对机械泵、分子泵、真空阀、放

      气阀阀门、托盘转速等精确控制;

      气体流量调节：标准配置：两路自动微调阀进气气路控制；气体流量数字显示；

      结构：型钢焊接封闭式框架


      1.质保期：1年，自货物验收合格之日起生效。2.售后服务：质保期内无偿提供现场售后服务。









      深圳技术大学





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