中国科学院光电技术研究所12英寸微纳结构刻蚀系统公开招标公告

      招标详情

      *****招标公司受业主*****委托，于2026-09-15在网上发布：中国科学院光电技术研究所12英寸微纳结构刻蚀系统公开招标公告。各有关单位请与公告中招标负责人接洽联系，及时开展投标及相关工作，以免错失商业机会。

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      中国科学院光电技术研究所12英寸微纳结构刻蚀系统公开招标公告




      公告概要：






































      公告信息：



      采购项目名称
      12英寸微纳结构刻蚀系统

      獲取招標文件时间
      2026年09月15日至2026年09月23日

      每日上午:9:00 至 11:30  下午:13:30 至 17:00（北京时间，法定节假日除外）


      招标文件售价
      ￥600


      獲取招標文件的地点
      中招联合招标采购平台（


      开标时间
      2026年10月09日 09:30


      开标地点
      成都（略）

      预算金额
      （略）



      （略）


      项目（略）

      牟女士


      项目联系（略）

      （略）


      采购单位
      中国科学院光电技术研究所


      采购单位地址
      四川省成都（略）

      采购单位联系方式
      陈老师 （略）


      代理机构名称
      （略）


      代理机构地址
      北京（略）

      代理机构联系方式
      牟女士 （略）








      一、项目基本情况



      项目编号：TC260707E


      项目名称：12英寸微纳结构刻蚀系统


      （略）


      （略）


      采购需求：



























      包号

      1




      货物名称

      12英寸微纳结构刻蚀系统




      数量（台/套）

      1套




      应用范围和要求

      用于12吋晶圆刻蚀工艺，配备两个反应腔，可实现SiO2、SiN、有机涂层、low k介质等膜层的刻蚀工艺。




      交货期

      合同签订后的9个月内交货。




      交货地点

      招标人指定地点。




      是否允许采购进口产品

      否




      是否专门面向中小企业采购

      否




      （略））

      2900




      （略））

      2900




      报价币种

      人民币





      合同履行期限：合同签订后的9个月内交货。


      本项目( 不接受  )联合体投标。



      二、申请人的资格要求：



      1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；


      2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

      按照政府采购法、政府采购法实施条例和相关规定执行：（1）政府采购促进中小企业发展；（2）政府采购支持监狱企业发展；（3）政府采购促进残疾人就业；（4）政府采购信用担保；（5）政府采购中实施本国产品标准及相关政策（既有本国产品又有非本国产品参与竞争时适用）。



      （略）


      三、獲取招標文件



      时间：2026年09月15日  至 2026年09月23日，每天上午9:00至11:30，下午13:30至17:00。（北京时间，法定节假日除外）


      （略）

      方式：本项目采用线上发售电子版招标文件，有意购买文件的潜（略）截止日前按以下步骤顺序进行操作，獲取招標文件： （1）首次注册供应商：（略）

      （略），本公告包含的招标文件售价总和



      四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点


      提交投标文件截止时间：2026年10月09日 09点30分（北京时间）


      开标时间：2026年10月09日 09点30分（北京时间）


      （略）


      五、公告期限



      自本公告发布之日起5个工作日。



      六、其他补充事宜




      本项目为重新启动招标项目，已经报名成功的无需重新报名，（略）





      七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。



      1.采购人信息


      名 称：中国科学院光电技术研究所


      地址：四川省成都（略）

      联系方式： 陈老师 （略）


      2.采购代理机构信息


      （略）


      地 址：北京（略）

      联系方式：牟女士 （略）


      3.项目联系方式


      项目（略）

      （略）







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